익명을 요구한 관계자에 따르면, SMIC는 2023년 미국 어플라이드 머티어리얼즈와 램리서치의 제조 장비를 이용해 화웨이를 위해 회로 선폭이 0.5나노미터인 제품을 생산했다.
이에 대해 블룸버그통신은 화웨이와 램리서치 담당자에게 논평을 요청했으나 답변을 받지 못했다. 또 어플라이드 머티어리얼즈(AMD)와 수출 규제를 담당하는 미 상무부 산업안보국은 논평을 거부했다.
하지만 이번 반도체 제조에는 네덜란드 ASML홀딩스의 기술과 램리서치, AMD의 장비 등 해외에서 조달하는 부분이 있다. 외신은 지난해 10월 화웨이가 반도체 생산에 네덜란드의 장비를 사용했다고 보도한 바 있다.
AMEC(中微半导体), 나우라테크놀로지그룹(北方华创) 등 중국 대형 반도체 제조장비 업체들은 미국의 동종업계 업체를 따라잡기 위해 노력하고 있지만, 종합력과 기능면에서 여전히 뒤처지고 있다. 중국 노광장비 1위인 상하이마이크로전자장비그룹(上海微电子装备集团)은 미국 업체들의 능력에 비해 몇 세대 뒤처져 있다.
일부 관계자에 따르면, 미 정부의 22년 10월 대(對)중국 수출 규제 이전에 미국산 제조 장비를 도입한 것으로 알려졌다.
미 상무부 당국자는 화웨이는 나노 제품을 '대량 생산'할 수 있다는 증거는 없다고 지적했다. 이 점에 대해서는 피터 웨닝크 미국 반도체 기업 퀄컴 최고경영자(CEO)도 비슷한 견해를 밝혔다.
미국 정부는 일본, 네덜란드, 독일, 한국 등에 중국의 반도체 기술 접근을 제한하는 조치를 더욱 강화할 것을 압박하고 있지만, 일부 국가들의 반발도 만만치 않다.
노정용 글로벌이코노믹 기자 noja@g-enews.com